NF C96-050-3-2006 半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
作者:标准资料网
时间:2024-05-17 11:28:58
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【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part3:thinfilmstandardtestpiecefortensiletesting.
【原文标准名称】:半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
【标准号】:NFC96-050-3-2006
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2006-11-01
【实施或试行日期】:2006-11-20
【发布单位】:法国标准化协会(AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;精密度;特性;试样;半导体器件;规范(验收);标准方法;符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:L55
【国际标准分类号】:31_080_01
【页数】:10P;A4
【正文语种】:其他
【原文标准名称】:半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
【标准号】:NFC96-050-3-2006
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2006-11-01
【实施或试行日期】:2006-11-20
【发布单位】:法国标准化协会(AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;精密度;特性;试样;半导体器件;规范(验收);标准方法;符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:L55
【国际标准分类号】:31_080_01
【页数】:10P;A4
【正文语种】:其他
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